1.品名：三氟化氮

商品編碼：2812.9011

別名：氟化氮

CAS號：7783-54-2

英文名：Nitrogentrifluoride

分子式：F₃N

外觀與性狀：無色、無臭、性質穩定的氣體。

主要用途：具有非常優異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。

危險特性：本品是強氧化劑，受熱或與火焰、電火化、有機物等接觸能燃燒，甚至爆炸；與易燃物(如苯)和可燃物(如糖、纖維素等)接觸會發生劇烈反應，甚至引起燃燒；與還原劑能發生強烈反應，引起燃燒爆炸。

健康危害：本品能強烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道黏膜，腐蝕組織。

防護措施：

呼吸系統防護：佩戴防護口罩。

眼睛防護：必要時戴安全防護眼鏡。

身體防護：穿防護服。

手防護：必要時戴防化學品手套。

其他防護：工作現場禁止吸煙。保持良好的衛生習慣。

危險性類別：氧化性氣體，類別1;加壓氣體；特異性靶器官毒性—反復接觸，類別2。

2.品名：三氟化磷

商品編碼：2812.9019

別名：氟化亞磷

CAS號：7783-55-3

英文名：Phosphorus trifluoride

分子式：F₃P

外觀與性狀：常溫常壓下為無色無味有毒氣體，液態為無色透明。

主要用途：用于發生氣體、氟化劑、外延、離子注入。

危險特性：本品是極毒物質。

健康危害：本品對皮膚、眼睛、黏膜呈強烈刺激作用，吸入可引起上、下呼吸道炎癥及肺水腫。

防護措施：

呼吸系統防護：佩戴防護口罩：

眼睛防護：必要時戴安全防護眼鏡。

身體防護：穿防護服。

手防護：必要時戴防化學品手套：

其他防護：工作現場禁止吸煙：保持良好的衛生習慣。

危險性類別：加壓氣體；急性毒性—吸入，類別1；嚴重眼損傷/眼刺激，類別2B；特異性靶器官毒性—單次接觸，類別3(呼吸道刺激)；特異性靶器官毒性—反復接觸，類別1。

文章來源：《危險化學品歸類指南下冊》

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